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陕西切割线硅片切割新退线工艺研究
作者:admin    发布日期:2017/12/29     关注次数:      二维码分享

陕西切割线硅片切割新退线工艺研究工作需要我们做哪些呢?你知道吗?下面西安合茵机电有限公司小编来告诉您:

在硅片切割工序中采用了一种新的退线方法,硅片切割完成后和提升硅片前增加一道退线工序,用于清除导轮上的线网,有效地减少硅片粘接面和侧面的崩缺和隐裂,减少掉片的产生;采用导轮和绕线轮反转的方法收取线网,减少一道用剪刀剪除导轮上线网的工序,消除了因碎钢线引起的误报警停机和硅片相应位置的停机线痕。

传统的退线过程,硅片切割完成后的提升过程中会受到来自钢线的向下拉力,所造成的反向线弓远远大于切割过程中的线弓,严重时甚至会引起掉片,造成硅片损失[1]。针对传统退线过程存在的问题,采用一种新的退线工艺,即在硅片切割完成后和提升硅片前的期间,使用新的工艺将导轮上的线网清除掉。线网清除后,硅片在提升过程中不再受到来自钢线的向下拉力,消除了此过程产生硅片崩缺等不良的不利因素,达到提升A 品率的目的。

陕西切割线

一、磁性装置固定剪线网方案


在硅片的进线和出线端面方向,初期采用磁棒作为磁性装置对线网进行固定,将硅片和磁棒之间的线网剪断,剪断点尽量贴近硅片[3]。线网剪断后,将残留在硅片缝隙中的钢线抽取出来。经过实验发现,由于钢线上残留砂浆的存在,剪线网后相邻的钢线会缠绕到一起,无法顺利地将钢线从硅片的缝隙中抽取出来。如果不抽取钢线,将对脱胶工序产生不利影响,脱胶后很难整理硅片从而引起碎片,此方案不可行。

二、正向退线工艺方案

剪断导轮进线口钢线,开启砂浆,线速设置为10m/s,使用断线模式和收线轮收线的方式,将导轮上的钢线收入收线轮,导轮上保留1km 钢线用于下一刀布线。

工艺在车间共进行了试刀实验。正向退线工艺崩缺比例较正常有所下降,A 品率提升。排除线痕的影响,A+B 品率和收率都有显著的提升。在收线完成后导轮上已留有约1km线网用于下一刀布线网,由于操作工实际操作水平不一,有一定几率会造成下一刀布线时反跑线网过程中钢线松散,无法完成布线,需要增加切片准备时间1-2h[4]。为避免此问题,需要对工艺进行改进。

三、反向退线工艺

剪断导轮出线口钢线,开启砂浆,线速设置为10m/s,使用断线模式和放线轮收线的方式,将导轮上的钢线收入放线轮,导轮上保留0.5-0.8km 钢线用于下一刀布线。

反向退线工艺主要是为了解决正向退线工艺中下一刀布线网可能会遇到的问题,适用于放线轮前有排线器的线切机。在不改造设备的前提下,主要适用于新B5 线切机。在车间分别进行了试刀实验。反向退线工艺崩缺比例较正常下降了1.11%,A 品率提升2.26%,排除线痕的影响,实际A 品率提升1.38%,A+B 品率和收率都有显著的提升。



四、结果与讨论

磁性装置固定剪线网方案在实际生产中不适用,正向、反向退线两种工艺都可以对硅片A 品率和崩缺不良起到良好的改善作用,但正向退线工艺对下一刀布线的不利影响较大,因此反向退线工艺相对更加适合推广应用[5]。工人对新工艺的理解和操作是直接关乎企业效益,企业应该在运用此工艺的时候编制与之对应的《新退线工艺操作流程》,对车间线切机操作人员进行工艺操作流程培训,以便项目推广应用[5]。

参考文献:

[1] 李清楠. 新能源太阳能发电技术及应用研究[J]. 科技展望, 2017(28): 159.

[2] Assadi M K, Bakhoda S, Saidur R, et al. Recentprogress in perovskite solar cells[J]. Renewable andSustainable Energy Reviews, 2017.

[3] 徐伟,王英民,何超,等. 金刚石多线切割工艺对高纯4H-SiC 晶片翘曲度的影响[J]. 工业设计, 2017(07):126-127.

[4] 鲍官培,周翟和,章恺,等. 太阳能硅片游离磨料电解磨削多线切割表面完整性研究[J]. 机械工程学报,2016(11): 201-206.

[5] 郑璐,何凤琴,钱俊,等. 太阳电池用晶体硅片及其技术标准发展现状[J]. 电源技术, 2016(04): 924-926.




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