以下是精密设备维护保养的系统化方案，综合行业标准与实践经验整理而成：

一、日常维护核心要点

清洁管理‌

每日使用无尘布清洁设备表面及关键部件（如光学镜头、传感器），防止粉尘堆积影响精度

对滑动导轨、丝杠等运动部件进行酒精擦拭，清除油污残留

润滑维护‌

采用指定型号润滑油，每200工作小时补充导轨油，避免干摩擦（如数控机床主轴轴承需使用高速润滑脂）

定期更换过滤器，保持润滑系统油路畅通，油质污染度需符合ISO 4406标准

环境控制‌

维持温度20±1℃、湿度40-60%RH的恒温恒湿环境，温度波动会导致精密测量设备产生0.01mm/m的热变形

安装防震地基或气浮平台，隔离频率＞5Hz的外部振动

二、周期性深度保养

月度维护‌

校准激光干涉仪等计量设备，补偿机械磨损导致的定位误差

检查气动系统密封性，气压需稳定在0.5±0.02MPa范围内

年度大修‌

更换老化部件（如伺服电机编码器电池、液压密封圈）

使用激光校准仪调整各轴垂直度，确保重复定位精度≤±1μm

三、特殊场景处理

长期停用设备‌

每周通电运行30分钟防止电路受潮，主轴需手动旋转避免轴承形变

涂抹防锈油后真空包装金属裸露部件

故障应急‌

出现异常振动时立即停机，优先检查地脚螺栓松动或传动带磨损

精密光学元件污染需使用专业清洁套装，禁止直接用手触碰

通过三级保养制（日检/月检/年检）可延长设备寿命30%以上，典型案例如半导体光刻机通过上述方案实现10万小时无大修。